Dostawa pięciu zbiorników napełnionych prekursorami chemicznymi do osadzania cienkich warstw metodą ALD

Opis przedmiotu przetargu: Przedmiotem zamówienia jest dostawa pięciu zbiorników napełnionych prekursorami chemicznymi, z tym, że zbiorniki mają być kompatybilne z urządzeniem TFS-200 Beneq (w siedzibie Zamawiającego) do osadzania cienkich warstw metodą ALD: 1) Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium (TEMAH), o czystości 99.99% i objętości 150ml, w zbiorniku podgrzewanym; 2) Trimethylaluminum (TMA), o czystości 99.99% i objętości 150ml, w zbiorniku na prekursory ciekłe; 3) Diethylzinc (DEZ), o czystości 99.9998% i objętości 150ml, w zbiorniku na prekursory ciekłe; 4) Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium(IV) (TEMAZ), o czystości 99% i objętości 150ml, w zbiorniku podgrzewanym; 5) Tantalum(V) chloride (TaCl5), o czystości 99.99% i objętości 150ml, w zbiorniku podgrzewanym; wraz z obsługą gwarancyjną.